自從芯片產(chǎn)業(yè)的制造，采用光刻方式之后，光刻機(jī)就成為了不可或缺的設(shè)備之一。

而當(dāng)光刻進(jìn)入浸潤式時(shí)代后，ASML抱著臺(tái)積電大腿，豪賭浸潤式，徹底崛起，將尼康、佳能等遠(yuǎn)遠(yuǎn)的甩在了身后，真正一家獨(dú)大。

如今在浸潤式光刻機(jī)領(lǐng)域，ASML份額超過90%，而在EUV光刻機(jī)領(lǐng)域，ASML的份額達(dá)到100%。

 

ASML不斷的升級(jí)機(jī)器，第一代浸潤式，升級(jí)為第二代浸潤式、第三代浸潤式……

EUV光刻機(jī)也是如此，普通EUV，第一代EUV，NA=0.33的低數(shù)值孔徑EUV光刻機(jī)，再NA=0.55的高數(shù)值孔徑EUV光刻機(jī)……

而晶圓廠，不斷的追求更先進(jìn)的工藝，從7nm到5nm，再到3nm，于是也得跟著ASML的腳步走，一代又一代的升級(jí)光刻機(jī)，將自己的舊光刻機(jī)更新?lián)Q代……

除非你的工藝不進(jìn)步了，死守28nm或14nm或XXnm，呆在原地不動(dòng)，否則就要跟著ASML走……

 

直到ASML推出最新的NA=0.55高數(shù)值孔徑EUV光刻機(jī)，也就是High-NA EUV光刻機(jī)，型號(hào)為EXE：5200的光刻機(jī)后，大家發(fā)現(xiàn)不對(duì)了，ASML說這是用于2nm及以下的芯片制造的。

因?yàn)檫@種光刻機(jī)實(shí)在是太貴了，售價(jià)高達(dá)3.5億歐元（約合27億元人民幣），大小約等于一輛雙層巴士，重量高達(dá)150噸，也就是150000KG，安裝需要ASML派250名工程師，6個(gè)月的時(shí)間。

買這種光刻機(jī)，成本太高了，拿臺(tái)積電為例，如果將現(xiàn)有的100多臺(tái)EUV光刻機(jī)，全換成這種，需要近3000億的換代成本。

 

臺(tái)積電也受不了啊，于是近日臺(tái)積電做了一個(gè)決定，暫時(shí)不買這種High-NA EUV光刻機(jī)，要基于原來的NA=0.33的光刻機(jī)，進(jìn)行技術(shù)改進(jìn)。

臺(tái)積電認(rèn)為，哪怕是采用舊的光刻機(jī)，應(yīng)該也是可以實(shí)現(xiàn)2nm甚至2nm以下芯片制造的，哪怕良率低一點(diǎn)點(diǎn)，流程稍微復(fù)雜一點(diǎn)點(diǎn)，也會(huì)比投資幾千億來換新EUV光刻機(jī)成本更低。

而一旦臺(tái)積電不買這種新光刻機(jī)，那么ASML可能就會(huì)是到麻煩了，甚至可能是“末路”，因?yàn)榕_(tái)積電一直是其EUV光刻機(jī)最大的客戶，如果臺(tái)積電不買，誰來買？intel、三星？估計(jì)這倆一旦看到臺(tái)積電不買，也會(huì)學(xué)臺(tái)積電的技術(shù)路線。

 

而成熟工藝的光刻機(jī)，比如DUV等，因?yàn)楸旧韮r(jià)格不貴，利潤也不是很高，且競(jìng)爭(zhēng)也大，只有EUV光刻機(jī)沒競(jìng)爭(zhēng)，才是ASML賺錢的根本啊。

可以說現(xiàn)在ASML是陷入了“工藝陷阱”了，如果跨不過去，可能就是末路，前路一片迷茫，因?yàn)樾酒に嚤平锢順O限，EUV光刻機(jī)也就走進(jìn)死胡同，花更高的成本去更新也無人買單了。